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Xceed MICRO │ AXION │ PRECION │ ARTION
Xceed MICRO │ AXION │ PRECION │ ARTION
Wafer検査専用 2D&3D AOI
高解像度Color Image
簡易なティーチング& 検査結果管理
EFEM連動機能
高精密Granite X/Y/Z stage
8”, 12” Ringframe Wafer : Multi Load Port & Dual arm
安定するPorous Vacuum Chuck
検査項目
Wafer Die(Chipping, Contamination など), Bump(Height, Offset,Coplanarity など)
Wafer検査専用 2D&3D AOI
高解像度Color Image
簡易なティーチング & 検査結果管理
EFEM連動機能
高精密Granite X/Y/Z stage
8”, 12” Ringframe Wafer : Multi Load Port & Dual arm
安定する Porous Vacuum Chuck
検査項目 Wafer Die(Chipping, Contamination など), Bump(Height, Offset,Coplanarity など)
